熱式氣體質量流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表，因為其安裝方便、維修簡單、防振動、寬量程比（100:1）。大口徑小流量測量等優點被廣泛應用于氯氣、氨氣、煤氣、壓縮空氣、氫氣、氮氣以及多組分氣體測量。在石油于天然氣工業、制造業、電力行業、化學行業、冶金行業、食品以及醫藥行業等，是經常看見它的身影。
熱式氣體質量流量計由傳感器和信號分析、處理與控制單元兩部分構成。傳感器一部分測量溫度，而另一部分用于加熱。前者監控實際過程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質量流量越大，冷卻效應就越大，維持差分溫度所需的能量也就越大。因此，通過測量加熱器的能量便可得出被測氣體的質量流量。
熱式氣體質量流量計安裝使用注意事項
（1）安裝姿勢方面，大部分熱式分布式的質量流量計可任何姿勢（水平、垂直或傾斜）安裝，只要在安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整，但是有些儀表則對安裝姿勢敏感，必須嚴格按說明書進行。大部分浸入式熱式質量流量計性能不受安裝姿勢影響，但是在低流速時要嚴格按說明書進行。
（2）前直管段方面，熱分布式不敏感，而帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前直管段，按制造廠建議安裝。
（3）連接熱式質量流量計的管道在常見范圍內的振動不會產生振動干擾；而插入式熱式質量流量計的檢測桿必須固定于管道并避開振動場所。
（4）熱式質量流量計響應時間長，不適用于脈動流。
熱式氣體質量流量計的應用：
火炬氣測量
垃圾填埋氣回收
燃氣行業各類氣體測量
水處理行業加氣流量測量
冶煉行業風機流量測量
半導體制造業加氣流量測量
水泥、玻璃制造行業加氣流量測量
大管徑低流速氣體流量測量的低成本應用
熱式氣體質量流量計可用于測量各種形狀.材質（如圓管.方管.矩形管等，口徑從8mm-10000mm或更大，各類金屬.塑料.水泥材質）中不含凝結液體的任何氣體，它無需溫壓補償，直接測出流體的質量流量。它的突出特點可以進行貿易結算：沒有任何活動部件：壓力損失小：量程比寬：精度高：可靠性高：安裝簡單：操作方便，廣泛用于石油.化工.醫療.熱電廠.鋼廠.環保等行業。
